会議発表論文 シリコンウェーハにおける自由キャリアのバルク・表面再結合拡散モデル: II.キャリア濃度分布

金田, 寛  ,  米澤, 英晃  ,  大村, 一郎

2017p.6p-A503-7 , 2017-09-06 , 社団法人応用物理学会
内容記述
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 福岡国際会議場・福岡国際センター・福岡サンパレスホテル(福岡市), 2017年9月5日-8日
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