Conference Paper 磁束センサアレイを用いたパワーモジュール内電流の可視化システムの開発

朝長, 大貴  ,  大村, 一郎  ,  附田, 正則  ,  大胡田, 清一  ,  野田, 龍三  ,  田代, 勝治

Power modules are required high reliability as energy saving technology. It is important to image current crowding which causes devices destruction. In this study, we developed the 16-channels micro magnetic flux sensor array and the amplifier to realize current imaging in power modules. We report the structure, flat sensitivity technology, noise reduction, data handling program and imaging tool on GUI.
電子デバイス/半導体電力変換 合同研究会, 10月29日-30日, 2015年, 長崎歴史文化博物館, 長崎県

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