会議発表論文 C2F4 ガスを含む混合ガス中の電子輸送特性

川口, 悟  ,  髙橋, 一弘  ,  佐藤, 孝紀  ,  伊藤, 秀範

17p ( 313 )  , pp.15 - 15 , 2017-03 , 公益社団法人 応用物理学会
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