学位論文 Development of a planar type of modulated inductively coupled thermal plasma for uniform oxidation processing

マイ, カイ シュアン ティアル  ,  Mai, Kai Suan Tial

2017-03-22
内容記述
博士論文要旨Abstract 以下に掲載:Journal of Physics D: Applied Physics 49(38) pp.1-14 2016. IOPscience. 共著者:Mai Kai Suan Tial, Yasunori Tanaka, Mika Akao, Yoshihiko Uesugi, Tastuo Ishijima
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