紀要論文 長方形マイクロ波プラズマ源内のプラズマ空間分布
チョウホウケイ マイクロハ プラズマゲンナイ ノ プラズマ クウカン ブンプ
Spatial plasma distribution in a rectangular-shape microwave plasma source

鍬田, 雄介  ,  伊藤, 修  ,  粕谷, 俊郎  ,  宮本, 直樹  ,  和田, 元  ,  クワタ, ユウスケ  ,  イトウ, シュウ  ,  カスヤ, トシロウ  ,  ミヤモト, ナオキ  ,  ワダ, モトイ  ,  Kuwata, Yusuke  ,  Ito, Shu  ,  Kasuya, Toshiro  ,  Miyamoto, Naoki  ,  Wada, Motoi

56 ( 3 )  , pp.205 - 212 , 2015-10-31 , 同志社大学ハリス理化学研究所 , Transcription:ドウシシャ ダイガク ハリス リカガク ケンキュウジョ , Alternative:Harris Science Research Institute of Doshisha University
ISSN:21895937
NII書誌ID(NCID):AA12716107
内容記述
長方形プラズマ源内で2.45 GHzのマイクロ波と永久磁石による磁場によってArプラズマを生成した。 ラングミュアプローブのアレイによって電子密度と電子温度の2次元空間分布を測定した。永久磁石の配列は電子密度と電子温度の分布に影響し、一方マイクロ波のアンテナと磁石の距離を変えるとマイクロ波の反射が変化した。均一なプラズマ形状になる最適な磁場の構造を議論した。
A power supply network at 2.45 GHz frequency coupled to a field produced by permanent magnets excited an Ar plasma in a rectangular-shape long-slot plasma source. Data measured with an array of Langmuir probe were utilized to construct the two dimensional spatial distribution of electron density and temperature. The arrangement of permanent magnets affected the distribution while the distance of the microwave antenna to the magnets changed the power reflection of the system. Structure of the magnetic field suitable to form homogeneous plasma is discussed.
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https://doors.doshisha.ac.jp/duar/repository/ir/22717/023056030010.pdf

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