学位論文 ハロゲン化シランの塩基付加体を経由したオリゴラダーフェニルシルセスキオキサンの合成とフォトリソグラフィーへの応用に関する研究

田代, 裕治

2015-09
内容記述
Supervisor:海老谷 幸喜
マテリアルサイエンス研究科
博士
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https://dspace.jaist.ac.jp/dspace/bitstream/10119/13488/3/summary.pdf

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