学位論文 超高真空処理・ウェット処理したシリコン表面の水および原子状水素との反応性の研究

宮城, 友昭

2015-06
内容記述
Supervisor:富取 正彦
マテリアルサイエンス研究科
博士
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https://dspace.jaist.ac.jp/dspace/bitstream/10119/12875/1/abstract.pdf

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https://dspace.jaist.ac.jp/dspace/bitstream/10119/12875/3/summary.pdf

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