Thesis or Dissertation 複雑形状物上に作成した非晶質炭素膜の膜構造と機械的特性に関する研究

平田, 祐樹

2016-03-24
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学位の種別: 課程博士
審査委員会委員 : (主査)東京大学准教授 崔 埈豪, 東京大学教授 杉田 直彦, 東京大学講師 長藤 圭介, 名古屋大学准教授 上坂 裕之, 産業技術総合研究所グループ長 三宅 晃司
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