Thesis or Dissertation 反応性イオンエッチング法によるポリマーの微細加工とそのマイクロ流体素子への応用

鍋澤, 浩文

2016-03-25
Description
学位記番号: 工博乙第工42号
研究科: 千葉大学大学院工学研究科
Full-Text

http://opac.ll.chiba-u.jp/da/curator/101967/TLB_0042_Y.pdf

Number of accesses :  

Other information