学術雑誌論文 Spatial profiles of interelectrode electron density in direct current superposed dual-frequency capacitively coupled plasmas

Hori, Masaru  ,  Sekine, Makoto  ,  Kondo, Hiroki  ,  Takeda, Keigo  ,  Yamaguchi, Tsuyoshi  ,  Komuro, Tatsuya  ,  Ishikawa, Kenji  ,  Ohya, Yoshinobu

50 ( 15 )  , p.155201 , 2017-04 , IOP publishing
ISSN:0022-3727
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http://ir.nul.nagoya-u.ac.jp/jspui/bitstream/2237/26587/1/paper_ohya_acceptedmanuscript.pdf

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